 |
Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP |
Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP включает в себя две модели: HRP 250 и HRP 350.
Оба представителя этой серии являются высокопроизводительными, максимально автоматизированными профилометрами промышленного назначения, ориентированными на высокое разрешение сканирования и чрезвычайно высокую пропускную способность.
Для приборов семейства HRP доступен широкий набор стилусов с различными радиусами скругления. Самый острый из них - 20 нм UltraSharp (TM) делает возможным сканирование поверхности устройств, выполненных по технологии 45 нм. Разрешение сканирования при этом сопоставимо с получаемым на атомно-силовом микроскопе, но при этом срок эксплуатации стилуса примерно в сто раз превышает срок эксплуатации кантилевера атомно-силового микроскопа.
Максимальная длина сканируемой области для HRP-250 составляет 200 мм, для HRP-350 - 300 мм.
|
