Нанолитография
|
|  | | Оптические профилометры MicroXAM | |
Быстрые, точные и бесконтактные 3D поверхностные измерения с субнанометровым разрешением и вычислением основных параметров поверхности | |
| | | K-Alpha+ | |
Полностью интегрированный РФЭС спектрометр последнего поколения. | |
| | | | | Theta 300 | |
Система для неразрушающего анализа поверхности и полноразмерных полупроводниковых пластин. Theta 300 сочетает методики РФЭС и РФЭС с угловым разрешением, являясь мощнейшим аналитическим прибором для использования в научных исследованиях и полупроводниковой промышленности. | |
| | |
|
|
