Анализ поверхности и наноструктур -
рфэ и оже-спектрометры
В данном разделе Вы найдёте информацию о самых разнообразных приборах, которые используются во многих отраслях науки и промышленности (сканирующие зондовые микроскопы (СТМ, АСМ), электронные спектрометры (РФЭС, ОЭС, УФЭС), профилометры, интерферометры и т.д.)
Совокупность таких систем позволяет решить любую исследовательскую задачу, направленную на всесторонний анализ свойств материала. Все исследовательские инструменты, представленные в данном разделе, могут быть использованы для исследования материалов на нанометрическом уровне.
Приборы Intertech Corporation позволяют проводить современные инновационные исследования и разработки на высочайшем уровне.
Производители
|
Системы сверхвысокого вакуума для электронной спектроскопии (РФЭС, ОЭС, УФЭС) О методе: Фотоэлектронная спектроскопия или РФЭС — это метод изучения строения вещества, основанный на анализе энергетических спектров электронов, полученных в результате фотоэффекта.
По спектру РФЭС можно определить энергию связи электронов, находящихся на различных орбиталях (остовных или валентных). В фотоэлектронной спектроскопии применяется монохроматизированное рентгеновское или ультрафиолетовое излучение с энергией фотонов от десятков тысяч до десятков эВ. Спектр фотоэлектронов регистрируется при помощи электронных спектрометров высокого разрешения (в настоящее время достигнуто разрешение менее десятых долей эВ в рентгеновской области и менее сотых долей эВ в ультрафиолетовой области). Метод фотоэлектронной спектроскопии может использоваться для исследования веществ в газообразном, жидком и твёрдом состоянии и позволяет исследовать валентные или остовные электронные оболочки атомов и молекул, а также уровни энергии электронов в твёрдом теле (структуру валентной зоны). Энергия электронов, находящихся на внутренних уровнях, зависит от химического окружения и типа химической связи, поэтому фотоэлектронная спектроскопия успешно применяется в аналитической химии для определения качественного и количественного состава вещества и в физической химии для исследования особенностей химической связи.
В химии методы электронной спектроскопии также известны под названием ЭСХА — электронная спектроскопия для химического анализа (ESCA — electronic spectroscopy for chemical analysis). Основные приложения метода: качественное определение присутствия химических элементов (все элементы, начиная с Li), анализ химического состояния обнаруженных элементов, исследование зонной структуры, исследование распеределения элементов по глубине (профилирование) и по поверхости (картирование), фазовый состав, анализ примесей и дефектов и др). За дополнительной информацией, пожалуйста, обращайтесь к нашим специалистам!
|
Theta 300
|
|
Система для неразрушающего анализа поверхности и полноразмерных полупроводниковых пластин. Theta 300 сочетает методики РФЭС и РФЭС с угловым разрешением, являясь мощнейшим аналитическим прибором для использования в научных исследованиях и полупроводниковой промышленности.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|