РФЭ и Оже-спектрометры - Информация о K-Alpha

Информация о K-Alpha

Какую информацию можно извлечь, используя метод РФЭС:

• Элементный состав поверхности (слоя толщиной 1-10 нм), включая поверхность тонких и сверхтонких пленок;
• Количественный состав поверхности материала (эмпирическая формула);
• Присутствие и элементный состав примесей и загрязнений;
• Химическое и электронное состояние каждого элемента, присутствующего на поверхности;
• Однородность распределения элементов (по поверхности - картирование, по глубине - неразрушающие или разрушающее профилирование);
• Толщина и состав сверхтонких слоев (до 10 нм), в том числе при наличии многослойных структур (с использованием углового разрешения - неразрушающая методика) или ионного травления - разрушающая методика);
• Косвенная информация о морфологии поверхностного слоя (плоские или островковые структуры и т.д.);
• Плотность электронных состояний