На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
расширенный поиск
Английская версия сайта Русская версия сайта
Элементный анализ Молекулярный анализ Анализ поверхности и наноструктур Термический анализ и реология Мониторинг атмосферы и промышленных выбросов Анализ в управлении технологическими процессами
Оптические и стилусные профилометрыНаномеханические испытанияРФЭ и Оже-спектрометрыСистемы микроанализа для электронных микроскоповСубмикронная ИК-спектроскопияСканирующая зондовая микроскопияСтандарты для калибровки оборудования для исследования поверхностиЗонды АСМ Виброзащита высокоточного оборудования

Оптические и стилусные профилометры - Оптические профилометры MicroXAM

Производители
KLA-Tencor

Ближайшие семинары
02.07.2019 - 05.07.2019
Курс повышения квалификации по ИК спектроскопии
г. Москва, НИТУ "МИСиС", МГУ им. М.В. Ломоносова
Читать далее»
22.05.2019 - 24.05.2019
Курс повышения квалификации по реологии
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
20.05.2019 - 29.05.2019
Обучающий семинар по АЭС-ИСП (iCAP 6000 / iCAP 7000)
г. Санкт-Петербург, Институт Гипроникель
Читать далее»
23.04.2019 - 26.04.2019
17-я Международная выставка "АналитикаЭкспо-2019"
г. Москва, ВЦ "Крокус Экспо", павильон 1, зал 4
Читать далее»
23.04.2019 - 25.04.2019
12-я Специализированная выставка "Композит-Экспо2019"
г. Москва, ЦВК "Экспоцентр", павильон 1
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
Анализ поверхности и наноструктур
 


задать вопрос менеджеру  


Оптические профилометры MicroXAM


Производитель: KLA-Tencor
Области применения: Микроэлектроника
Наука
Материаловедение
Нанолитография
Полупроводниковая промышленность
Оптический профилометр (интерферометр) MicroXAM-800

 

 

 

 

Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.

Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.

Оптическая схема MicroXAM

Семейство оптических профилометров MicroXAM включает в себя два прибора: MicroXAM-100 и MicroXAM-1200.

MicroXAM-100

MicroXAM-100

Профилометр MicroXAM-100 разработан для исследователей, которые заинтересованы в получении быстрых и повторяемых результатов с помощью инструмента, не обремененного излишними уровнями сложности.

MicroXAM -100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых.

Преимущества MicroXAM-100:

  • 3D рендеринг поверхности с возможностью извлечение профиля отдельной линии сканирования;
  • Вычисления шероховатости, неровности, толщины покрытий и других геометрических характеристик;
  • Простое ориентирование по образцу благодаря интуитивно понятному интерфейсу и наличию видеокамеры;
  • Перенос данных из окна измерений без остановки процесса сканирования;
  • Опционально доступно программное обеспечение для математического анализа изображений SPIP
  • Интуитивно понятный интерфейс, применяемый в программном обеспечении MicroXAM-100, позволяет пользователю быстро осваивать процедуры измерения и максимально эффективно использовать оборудование.
  • Площадка сканирования интерферометра MicroXAM-100 может варьироваться от 100Х100 мкм до 1000Х1000 мм (в зависимости от используемого объектива). 

Интерфейс MicroXAM 100

Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).

 

Полный пакет 3D аналитического программного обеспечения для работы MicroXAM-100 с Windows®, Intel процессором и TFT плоским монитором. Аналитический пакет обеспечивает расчет поверхностной шероховатости, волнистости, высоту ступеньки и другие параметры поверхности.

Анализ полученнных данных возможно так же проводить и удаленно, тем самым позволяя проводить непрерывные измерения - повышать производительность измерений.

Ниже приводятся основные технические данные профилометра MicroXAM - 100.

Измерительные характеристики

Воспроизводимость измерения вертикальной ступеньки

1 нм (1σ)

Погрешность измерений

<0,1%

Вертикальный диапазон сканирования

250 мкм (10 мм опционально)

Скорость вертикального сканирования

До 7,2 мкм/с

Площадь обзора

101х101 мкм – 1,0х1,0 мм

Характеристики оборудования

Разрешение видеокамеры

480х480

Диапазон перемещения предметного столика

100х100 мм

Наклон предметного столика

±6°

Виброизоляция

пассивная

Увеличение объективов

50х, 20х, 10х, 5х

Физические размеры

Длина

406 мм 

Ширина

304 мм

Высота

431 мм

Вес прибора

22,7 кг

Вес при транспортировке

68,0 кг

Дополнительные опции MicroXAM-100:

  • Широкий набор объективов с увеличением от 5Х до 50Х;

  • Предметный столик размером 100 мм с сервоприводами перемещения по осям X, Y, Z, а так же по углу наклона;
  • Программное обеспечение для «сшивания» нескольких изображений в одно для расширения площади обзора. Позволяет соединять изображения в матрицу 4х4. «Сшивание» может быть осуществлено в любой момент времени после измерений и при использований любого из объективов;

  • Программное обеспечение для офлайн анализа данных. Позволяет обрабатывать полученные данные на удаленном компьютере. Так же возможно создание программы и очереди обработки полученных данных и загрузка этой программы на компьютер, подключенный к профилометру. 

Основные области применения:

  • Исследование  текстуры поверхности;
  • Измерение высоты вертикальной ступени поверхности;
  • Исследования шероховатости и дефектности поверхности;
  • Исследования напряжений в тонких плёнках;
  • Биологические исследования;
  • Микроэлектромеханические системы;
  • 3D визуализация топографии поверхности;
  • Материаловедение и технология новых материалов.

 

Изображения получены с помощью MicroXAM-100

MicroXAM-1200

Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором.

 MicroXAM-1200

Преимущества MicroXAM-1200:

  • Доступен широкий выбор объективов с коэффициентом увеличения от 2,5х до 50х, что позволит рассмотреть самые мелкие детали и увидеть макрокартину поверхности одновременно. С помощью  четырехпозиционного переключателя коэффициент увеличения может изменяться для обеспечения требуемого масштаба и угла обзора.
  • Стандартная видеокамера может быть заменена на цифровую видеокамеру высокого разрешения.
  • Предметный столик перемещается с помощью сервопривода. Доступны различные размеры предметных столиков - от 4 до 8 дюймов.
  • Мощный пакет программного обеспечения для анализа поверхности MapVue AE обеспечивает сбор, обработку и визуализацию поверхности. С помощью её  развитого интерфейса вы сможете наложить на полученное изображение фильтры, соединить несколько изображений в одно, рассчитать широкий спектр марко и микро 2D и 3D параметров.

Измерительные характеристики

СКО измерений

0,01 нм  (1σ)

Воспроизводимость измерений

вертикальной ступеньки

1 нм или 0,1% (1σ)

Класс точности

0,1

Вертикальный диапазон сканирования

10 мм

Скорость вертикального сканирования

До 7,2 мкм/с

Площадь обзора

82х62 мкм – 5,3х4,0 мм

Характеристики оборудования

Разрешение видеокамеры

752х480 для аналоговой видеокамеры

1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция)

Диапазоны перемещения

предметного столика X-Y

100х100 мм

150х150 мм

200х200 мм

Диапазон отклонения зонда

±7°

Привод вращения видеокамеры

±90°, червячная передача

Персональный компьютер

Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM,

CD-RW/DVD ROM,

Windows XP Professional OS, 19’’ LCD

Коэффициент увеличения объективов

50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х

Применения MicroXAM-1200

Применения MicroXAM-1200


Назад


О компанииНовостиОборудованиеЛИМСКомплексные проектыБиблиотекаСервисКонтактыВакансии
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design