|
K-Alpha+ |
К-ALPHA+ – полностью интегрированный РФЭ спектрометр. Максимально компактный и простой в обращении прибор, сочетающий разумную цену с высокой функциональностью. Все процессы максимально автоматизированы, все операции проводятся без вмешательства пользователя (за исключением загрузки образца). Система укомплектована ионной пушкой с функцией зарядовой нейтрализации. 128-канальный анализатор для картирования поверхности с высоким разрешением. Автоматическое создание отчёта.
Прекрасные возможности для проведения анализа, низкая стоимость и компактные размеры сделали K-Alpha+ идеальным решением как для традиционных, так и для новых областей применения анализа поверхности. Всего за год существования на рынке прибор приобрел чрезвычайную популярность и широко используется в биомедицинских лабораториях и центрах исследования наноматериалов по всему миру.
Конфигурация
Микрофокусный монохроматизированный источник рентгеновского излучения для быстрого и эффективного проведения анализа
- Определение химических состояний элементов
- Возможность непрерывного изменения анализируемой площади (от больших площадей до 30 мкм)
- Неразрушающий анализ
- Простота позиционирования пятна на поверхности
- Картирование поверхности, возможность сканирования вдоль линии с микронным разрешением
Электронная оптика последнего поколения, обеспечивающая максимальную точность и высокую интенсивность
- Новейшая конструкция линз
- Анализатор высокого разрешения
- Получение данных как в параллельном режиме, так и в режиме сканирования
- Режим снимка для быстро картирования поверхности и профилирования по глубине
- Превосходные пределы обнаружения для РФЭС
Точное позиционирование образца для большей уверенности в получаемых результатах
- Максимальная точность позиционирования образца
- Уникальная система подсветки
- Запатентованная система наблюдения за образцом (используются 3 камеры)
- Система отражающей оптики для выбора области анализа
Новейшая ионная пушка для эффективного распылительного профилирования
- Оптимальная скорость травления
- Режим низкоэнергетических электронов
- Возможность вращения образца
- Режим высокого тока для повышения скорости травления
- Автоматическая настройка и юстировка
Новая система компенсации заряда для исследования непроводящих образцов
- Возможность получения спектров высокого разрешения
- Исследование любого типа образцов
- Анализ больших и малых площадей поверхности
- Не требуется вмешательства пользователя
Геометрия всех компонентов аналитического оборудования была учтена для оптимизации работы прибора. Схема расположения компонентов представлена на рисунке 3. Система обладает несколькими важными особенностями:
- ось промежуточной линзы перпендикулярна поверхности образца, что обеспечивает максимальную эффективность сбора данных;
- оптика Reflex всегда обеспечивает линейное изображение анализируемого образца, также перпендикулярно поверхности образца. Это обеспечивает наилучшие условия для наиболее точного определения позиции образца;
- камера для установки высоты позволяет точно определить правильное положение образца при анализе малых площадей и правильную высоту для достижения оптимальной чувствительности;
- рентгеновское излучение проходит через фокусирующий монохроматор. Это позволяет пользователю определить площадь анализа и обеспечивает максимальную чувствительность при анализе малых площадей;
- новая ионная пушка позволяет получать профили распределения концентрации по глубине с отличным разрешением. Она направляет пучок низкоэнергетических ионов в точку малого диаметра, в результате чего достигается хорошее разрешение при высокой скорости анализа;
- новый нейтрализатор разработан таким образом, что пользователю нужно только включить его, если требуется провести анализ изоляторов - не требуется какой-либо дополнительной юстировки или оптимизации;
- подсветка образца крайне важна для получения высококачественного изображения образца в реальном времени. Система K-Alpha+ оборудована осветителями двух типов. Один дает коаксиальное освещение для оптики Reflex, идеальное для образцов с гладкой поверхностью. Другой источник света дает неосевое освещение, которое идеально подходит для образцов с шероховатой поверхностью.
Аналитическая камера изготовлена из цельного куска сплава никеля с железом. Это обеспечивает отличное экранирование. Точность изготовления сводит к минимуму необходимость юстировки компонентов. Для прокачки используется турбомолекулярный насос в комбинации со роторным форвакуумным и сублимационным насосами.
Архитектура системы K-Alpha+
Картирование поверхности - определение распределения компонентов
Многоканальный детектор в системе K-Alpha+ позволяет мгновенно получать спектры высокого разрешения. Это означает, что спектр можно получить для каждой точки изображения. К каждой точке также можно применить все функции обработки данных программного обеспечения Avantage, включая функцию аппроксимации спектров и учета фона. Это позволяет пользователю получать количественные карты распределения элементов в различных химических состояниях по поверхности, аналогичные представленной на рисунке ниже. Более подробную информацию Вы можете получить у наших специалистов.
Картирование поверхности: (а) карта распределения атомов углерода в состоянии, отвечающем связи C-H, (b) связи С-F.
Распылительное профилирование
Система K-Alpha+ оборудована новой ионной пушкой, которая особенно эффективна при низких энергиях. Это значит, что система может непрерывно генерировать профили распределения элементов по глубине с отличным разрешением даже для самых "трудных" образцов. В случае необходимости для получения оптимального разрешения по глубине можно использовать азимутальное вращение.
Профили распределения элементов по глубине для фрагмента рентгеновского зеркала, в котором слои чередуются через каждые 7 нм. Для получения профилей использованы ионы аргона с энергией 220 эВ.
Функция автоматического создания отчетов
Программное обеспечение Avantage позволяет отказаться от выполнения многих рутинных операций, связанных с проведением анализа. В нем имеется возможность автоматического создания отчетов. Отчет содержит изображения образцов и анализируемой области, все полученные спектры и таблицы количественных результатов для каждого из проанализированных образцов.
Функция автоматического проведения анализа
Система K-Alpha+ также использует функцию Auto-analyze. Благодаря этой опции пользователь может просто загрузить образцы и указать на изображении Platter View позиции для анализа. После этого прибор автоматически проведет следующие операции:
1) откачка камеры ввода и перемещение образца в камеру анализа;
2) регистрация обзорного спектра;
3) идентификация элементов, присутствующих в обзорном спектре;
4) получение количественных результатов;
5) получение спектров высокого разрешения для идентифицированных элементов для определения их химических состояний;
6) определение химических состояний для идентифицированных элементов и состава образца;
7) переход к следующему образцу и повторение вышеуказанных операций, начиная с операции №2;
8) создание отчета после завершения анализа последнего образца;
9) возврат образцов в манипулятор. Теперь можно загрузить в прибор новый комплект образцов.
|