 |
Стилусный профилометр P-17+ |
Стилусный профилометр P-17+
Обновление линейки стилусных профилометров коснулось и модели Р-16+. Получив новый индекс P-17+, прибор сохранил прежние очертания, однако получил обновленную начинку.
Объединяя выдающиеся измерительные характеристики своего младшего брата P-7, профилометр P-17+ прибавляет к ним широкие возможности автоматизации процессов измерения, возможность построения профиля напряжений поверхности, а так же многое другое. Выпускается профилометр P-17+ в двух конфигурациях - P-17+ и P-17+OF, Конфигурация OF позволяет производить инспекцию пластин размером до 300 мм.
P-17+ - система исследовательского класса, используемая в широком диапазоне приложений от научных задач до применения во многих отраслях промышленности.
Профилометр P-17+ является оборудованием с наилучшей воспроизводимостью среди присутствующих на рынке систем. В стандартном исполнении прибор обеспечивает непрерывное сканирование трассы длиной в 200 мм - эта характеристика является непревзойденной на настоящий момент.
Измерительный преобразователь UltraLite® c технологией динамического контроля усилия обеспечивает превосходную линейность, высочайшее вертикальное разрешение, что в совокупности позволяет считать его самым продвинутым по конструкции преобразователем на рынке.
Среди дополнительных преимуществ модели P17+ стоит отметить оптическую систему обзора с двумя видеокамерами: с видом сверху вниз и под углом, сервоприводы вращения и автоматизированного выравнивания предметного стола.
Легкость использования профилометра обеспечивается наличием систем автоматизированного контроля, постановки задач в очередь и последовательного выполнения, а так же возможностью легкого перехода по повехрности пластин при помощи клика мыши.
Преимущества P-17+:
- Лучшая в своем классе повторяемость измерений вертикальной ступеньки - 4 ангстрема;
- Компактные размеры прибора при максимальной длине сканируемого участка в 200 мм;
- Минимальное усилие воздейтсвия стилуса на поверхность образца в 0,05 мг;
- Программное обеспечение Apex 2D и 3D для анализа параметров профиля поверхности, набора статистических данных, а так же оформления готового отчета.
Стилусные профилометры Р-17+ и Р-17+ OF обеспечивают подробный двух и трехкоординатный анализ топографии поверхности широкого спектра материалов, включая: полупроводниковые многослойные материалы, тонкие пленки и химические покрытия, микроэлектромеханические системы, оптоэлектронику, медицинские и биологические устройства, а так же панели жидкокристаллических дисплеев.
Базовое оснащение включает в себя:
- Автоматические последовательные измерения до 20 заданных областей;
- Интегрированное прогрмаммное обеспечение "Apex Analisys 2D";
- Цветная видеокамера с ПЗС матрицей 5 Мпикс;
- Вертикальный сенсор с диапазоном перемещения в 300 мкм;
- Измерительная насадка "MicroHead 5SR";
- Число срезов данных - до 4 000 000 за одно сканирование;
- Частота следования срезов данных до 2 кГц;
- Предметный стол круглой формы ? 200 мм (для P-17+) и квадратный стол 240Х240 мм (для P-17+ OF);
- Визуализация с помощью двух видеокамер;
- Алмазный стилус с радиусом скругления 2 мкм;
- Персональная рабочая станция на основе операционной системы MS Windows XP.
Дополнительные опции для P-17+:
- Пакет "Производительность" открывает возможность задавать последовательность из 1000 областей измерения и распознавания образцов по подложке;
- Программное обеспечение "Apex 3D" или "Profiler 3D";
- Расширенный диапазон сканирования (до 200 мм);
- Измерительная головка "Microhead 5LF" для измерений с воздействием на стилус от 0,05 мг. Диапазон вертикального перемещения при этом составляет 130 мкм;
- Измерительная головка "Microhead 5XR" для измерений шероховатых поверхностей с высотой рельефа до 1 мм и усилием воздействия стилуса от 0,5 мг;
- Круглый предметный столик ? 300 мм для P-17+ OF;
- Объективы с различными коэффициентами увеличения;
- Дополнительное программное обеспечение: 2D или 3D стресс, комбинированная статистика, оф-лайн анализ;
- Стилусы с различными радиусами скругления для разнообразных применений - от исследования покрытий до изучения микрорельефа поверхности.
Технические особенности и иллюстрации
Для упрощения процедуры позиционирования образца в профилометре P-17+ используется визуализация с помощью двух видеокамер. Вертикальная видеокамера позволяет с легкостью осуществлять перемещение по образцу, а так же удобно позиционировать сенсор в выбранном месте образца, а боковая, в свою очечредь, позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени.
|
