На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
расширенный поиск
Английская версия сайта Русская версия сайта
Общелабораторное оборудование Элементный и изотопный анализ Молекулярный анализ Анализ поверхности и наноструктур Термический анализ и реология Мониторинг атмосферы и промышленных выбросов Анализ в управлении технологическими процессами
Оптические и стилусные профилометрыНаномеханические испытанияРФЭ и Оже-спектрометрыСистемы микроанализа для электронных микроскоповСубмикронная ИК-спектроскопияСканирующая зондовая микроскопияАнализаторы толщины пленок FilmetricsСтандарты для калибровки оборудования для исследования поверхностиЗонды АСМ Виброзащита высокоточного оборудования

Анализ поверхности и наноструктур - Стилусный профилометр P-17+

Последние новости
[15.04.2021]
Вебинар по анализаторам толщины пленок и отражающей способности покрытий
Читать далее»
[05.04.2021]
Выставка "TechnoPark Ural" 20-21 апреля 2021 г.
Читать далее»
[02.04.2021]
Выставка "Аналитика Экспо 2021" 13-16 апреля 2021 г.
Читать далее»
[01.04.2021]
Семинар в Нижнекамске
Читать далее»
[26.03.2021]
Вебинар по наноиндентированию
Читать далее»
[15.03.2021]
Многокомпонентный анализ токсичности дыма. Вебинар
Читать далее»
[04.03.2021]
С наступающим 8 марта!
Читать далее»
[02.03.2021]
Участие в выставке "Композит Экспо-2021"
Читать далее»
...История новостей
Ближайшие семинары
19.10.2021 - 22.10.2021
Курс повышения квалификации по методам термического анализа
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
29.06.2021 - 02.07.2021
Курс повышения квалификации по ИК спектроскопии
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
20.04.2021 - 22.04.2021
Выставка "TechnoPark Ural"
г. Екатеринбург, МВЦ "Екатеринбург-Экспо"
Читать далее»
20.04.2021 - 20.04.2021
Семинар по методам молекулярного, термического анализа и реологии
г. Нижнекамск, Нижнекамский химико-технологический институт
Читать далее»
13.04.2021 - 16.04.2021
Выставка "Аналитика Экспо 2021"
г. Москва, МВЦ "Крокус Экспо", павильон 3, зал 13
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
 


задать вопрос менеджеру  


Стилусный профилометр P-17+


Производитель: KLA-Tencor
Области применения: Микроэлектроника
Наука
Материаловедение
Полупроводниковая промышленность
Стилусный профилометр P-17+
Увеличить

Стилусный профилометр P-17+

Обновление линейки стилусных профилометров коснулось и модели Р-16+. Получив новый индекс P-17+, прибор сохранил прежние очертания, однако получил обновленную начинку.

Объединяя выдающиеся измерительные характеристики своего младшего брата P-7, профилометр P-17+ прибавляет к ним широкие возможности автоматизации процессов измерения, возможность построения профиля напряжений поверхности, а так же многое другое. Выпускается профилометр P-17+ в двух конфигурациях - P-17+ и P-17+OF, Конфигурация OF позволяет производить инспекцию пластин размером до 300 мм.

P-17+ - система исследовательского класса, используемая в широком диапазоне приложений от научных задач до применения во многих отраслях промышленности.

Профилометр P-17+ является оборудованием с наилучшей воспроизводимостью среди присутствующих на рынке систем. В стандартном исполнении прибор обеспечивает непрерывное сканирование трассы длиной в 200 мм - эта характеристика является непревзойденной на настоящий момент.

Измерительный преобразователь UltraLite® c технологией динамического контроля усилия обеспечивает превосходную линейность, высочайшее вертикальное разрешение, что в совокупности позволяет считать его самым продвинутым по конструкции преобразователем на рынке.

Среди дополнительных преимуществ модели P17+ стоит отметить оптическую систему обзора с двумя видеокамерами: с видом сверху вниз и под углом, сервоприводы вращения и автоматизированного выравнивания предметного стола.

Легкость использования профилометра обеспечивается наличием систем автоматизированного контроля, постановки задач в очередь и последовательного выполнения, а так же возможностью легкого перехода по повехрности пластин при помощи клика мыши.

Преимущества P-17+:

  • Лучшая в своем классе повторяемость измерений вертикальной ступеньки - 4 ангстрема;
  • Компактные размеры прибора при максимальной длине сканируемого участка в 200 мм;
  • Минимальное усилие воздейтсвия стилуса на поверхность образца в  0,05 мг;
  • Программное обеспечение Apex 2D и 3D для анализа параметров профиля поверхности, набора статистических данных, а так же оформления готового отчета.

Стилусные профилометры Р-17+ и Р-17+ OF  обеспечивают подробный двух и трехкоординатный анализ топографии поверхности широкого спектра материалов, включая: полупроводниковые многослойные материалы, тонкие пленки и химические покрытия, микроэлектромеханические системы, оптоэлектронику, медицинские и биологические устройства, а так же панели жидкокристаллических дисплеев.

Базовое оснащение включает в себя:

  • Автоматические последовательные измерения до 20 заданных областей;
  • Интегрированное прогрмаммное обеспечение "Apex Analisys 2D";
  • Цветная видеокамера с ПЗС матрицей 5 Мпикс;
  • Вертикальный сенсор с диапазоном перемещения в 300 мкм;
  • Измерительная насадка "MicroHead 5SR";
  • Число срезов данных - до 4 000 000 за одно сканирование;
  • Частота следования срезов данных до 2 кГц;
  • Предметный стол круглой формы Ø 200 мм (для P-17+) и квадратный стол 240Х240 мм (для P-17+ OF);
  • Визуализация с помощью двух видеокамер;
  • Алмазный стилус с радиусом скругления 2 мкм;
  • Персональная рабочая станция на основе операционной системы MS Windows XP.

Дополнительные опции для P-17+:

  • Пакет "Производительность" открывает возможность задавать последовательность из 1000 областей измерения и распознавания образцов по подложке;
  • Программное обеспечение "Apex 3D" или "Profiler 3D";
  • Расширенный диапазон сканирования (до 200 мм);
  • Измерительная головка "Microhead 5LF" для измерений с воздействием на стилус от 0,05 мг. Диапазон вертикального перемещения при этом составляет 130 мкм;
  • Измерительная головка "Microhead 5XR" для измерений шероховатых поверхностей с высотой рельефа до 1 мм и усилием воздействия стилуса от 0,5 мг;
  • Круглый предметный столик  Ø 300 мм для P-17+ OF;
  • Объективы с различными коэффициентами увеличения;
  • Дополнительное программное обеспечение: 2D или 3D стресс, комбинированная статистика, оф-лайн анализ;
  • Стилусы с различными радиусами скругления для разнообразных применений - от исследования покрытий до изучения микрорельефа поверхности. 

 Технические особенности и иллюстрации

Для упрощения процедуры позиционирования образца в профилометре P-17+ используется визуализация с помощью двух видеокамер. Вертикальная видеокамера позволяет с легкостью осуществлять перемещение по образцу, а так же удобно позиционировать сенсор в выбранном месте образца, а боковая, в свою очечредь, позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени.

 Система визуализации

Примеры топографии получаемой с помощью p-16+

 

 

 


Назад


О компанииНовостиОборудованиеЛИМСКомплексные проектыБиблиотекаСервисКонтактыВакансии
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design