Бесконтактный оптический профилометр на основе технологии ZDot
Полноцветная CCD-камера
Оптический модуль с высокоэффективной подсветкой для работы с прозрачными подложками и пленками и двойным светодиодным источником для усиления сигнала от поверхностей с низкой отражающей способностью
Богатый выбор опций и аксессуаров
Стандартный механизм сканирования (разрешение по вертикали - 15 нм) или опциональный пьезопривод (2 нм)
Открытая архитектура предметного столика
Возможна моторизация предметного стола по XY
Совместим с аппаратными опциями для специальных применений