 |
Оптические профилометры Zeta Instruments |
В 2017 году мировой лидер в области производства диагностического оборудования для полупроводниковой промышленности, компания KLA-Tencor, приобрела фирму Zeta Instruments – известного производителя оптических профилометров на основе уникальной технологии ZDot, обеспечивающей полноцветные изображения поверхности материалов и не имеющей ограничений применения интерферометрии.
Уникальная запатентованная технология ZDot основана на точной фокусировке излучения, отраженного от определенного участка поверхности, при помощи улучшенной подсветки и специальной оптической схемы. В сочетании с инновационным алгоритмом обработки информации, данная технология фактически снимает ограничения по топографии и свойствам поверхностей, которые могут быть охарактеризованы при помощи оптической профилометрии. Чувствительность по оси Z – от 10 нм, поле обзора – от 100 мкм до 4.5 мм. Важной особенностью получаемых изображений является передача реальных цветов (полноцветное изображение).
При этом в одном приборе можно комбинировать целый ряд методов, включая:
- оптическую профилометрию (технология ZDot)
- рефлектометрию (ZFT) для определения толщины пленок
- метод интерференционного контраста (ZIC) для получения изображений
-оптическую интерферометрию (ZX5, ZSI)
В отличие от обычных оптических профилометров-интерферометров, данное оборудование позволяет эффективно работать с:
- прозрачными и многослойными пленками и покрытиями
- материалами с низкой отражающей способностью и низким контрастом
- материалами с высокими значениями шероховатости
- материалами с большими перепадами высот
- глубокими канавками и отверстиями с высоким аспектным отношением
Оптические профилометры Zeta Instruments дают огромные преимущества при использовании в следующих отраслях:
- производство светодиодов высокой яркости и структурированных сапфировых подложек (PSS)
- производство солнечных модулей
- исследование воздействия лазерного излучения на поверхность материалов с полной передачей цвета, независимо от шероховатости поверхности
- МЭМС/микрофлюидика
- производство жестких дисков и иных носителей информации
- производство печатных плат и гибких печатных плат
- научные исследования и разработки в области новых материалов
Настольный оптический профилометр Zeta-20
Напольная система Zeta-300
Система Zeta-388 с кассетной загрузкой для автоматической инспекции и метрологии
Аппаратные опции для специальных применений
|
