На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
расширенный поиск
Английская версия сайта Русская версия сайта
Элементный анализ Молекулярный анализ Анализ поверхности и наноструктур Термический анализ и реология Мониторинг атмосферы и промышленных выбросов Анализ в управлении технологическими процессами
Оптические и стилусные профилометрыНаномеханические испытанияРФЭ и Оже-спектрометрыСистемы микроанализа для электронных микроскоповСубмикронная ИК-спектроскопияСканирующая зондовая микроскопияСтандарты для калибровки оборудования для исследования поверхностиЗонды АСМ Виброзащита высокоточного оборудования

Оптические и стилусные профилометры - Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP

Производители
KLA-Tencor

Ближайшие семинары
02.07.2019 - 05.07.2019
Курс повышения квалификации по ИК спектроскопии
г. Москва, НИТУ "МИСиС", МГУ им. М.В. Ломоносова
Читать далее»
20.05.2019 - 29.05.2019
Обучающий семинар по АЭС-ИСП (iCAP 6000 / iCAP 7000)
г. Санкт-Петербург, Институт Гипроникель
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
Анализ поверхности и наноструктур
 


задать вопрос менеджеру  


Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP


Производитель: KLA-Tencor
Области применения: Микроэлектроника
Анализ покрытий
Нанолитография
Полупроводниковая промышленность
Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP

 

Семейство стилусных профилометров высокого разрешения HRP включает в себя две модели: HRP 250 и HRP 350.

Оба представителя этой серии являются высокопроизводительными, максимально автоматизированными профилометрами промышленного назначения, ориентированными на высокое разрешение сканирования и чрезвычайно высокую пропускную способность.

Для приборов семейства HRP доступен широкий набор стилусов с различными радиусами скругления. Самый острый из них - 20 нм UltraSharp (TM) делает возможным сканирование поверхности устройств, выполненных по технологии 45 нм. Разрешение сканирования при этом сопоставимо с получаемым на атомно-силовом микроскопе, но при этом срок эксплуатации стилуса примерно в сто раз превышает срок эксплуатации кантилевера атомно-силового микроскопа.

Максимальная длина сканируемой области для HRP-250 составляет 200 мм, для HRP-350 - 300 мм.

 


Назад


О компанииНовостиОборудованиеЛИМСКомплексные проектыБиблиотекаСервисКонтактыВакансии
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design