 |
F30 |
Позволяет измерять скорость напыления, толщину пленок, оптические постоянные (n, k) и однородность полупроводниковых и диэлектрических слоев в режиме реального времени на основе метода рефлектометрии. Для использования с гладкими светопрозрачными или слабопоглощающими пленками, к которым относятся практически все полупроводниковые материалы – от AlGaN до GaInAsP.
Преимущества использования системы F30 в процессе напыления:
- Существенное повышение производительности
- Малая стоимость прибора быстро окупается
- Высокая точность и быстрота измерений
- Бесконтактный метод измерений, прибор располагается полностью снаружи камеры
- Может быть использован для предварительной калибровки и корректировки параметров напыления, для мониторинга процесса напыления в режиме реального времени, а также после напыления для оценки результата.
|
