На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
расширенный поиск
Английская версия сайта Русская версия сайта
Общелабораторное оборудование Элементный и изотопный анализ Молекулярный анализ Анализ поверхности и наноструктур Термический анализ и реология Мониторинг атмосферы и промышленных выбросов Анализ в управлении технологическими процессами
Оптические и стилусные профилометрыНаномеханические испытанияРФЭ и Оже-спектрометрыСистемы микроанализа для электронных микроскоповСубмикронная ИК-спектроскопияСканирующая зондовая микроскопияАнализаторы толщины пленок FilmetricsСтандарты для калибровки оборудования для исследования поверхностиЗонды АСМ Виброзащита высокоточного оборудования

Анализаторы толщины пленок Filmetrics - F3-sX

Производители
Ближайшие семинары
08.12.2020 - 11.12.2020
Курс повышения квалификации по ИК-Фурье спектроскопии
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
 


задать вопрос менеджеру  


F3-sX


Производитель: Filmetrics
F3-sX
Увеличить

Семейство анализаторов толщины F3-sX предназначено для определения толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок толщиной от 15 нм до 3 мм. Для толстых пленок характерна более высокая шероховатость и меньшая однородность, что преодолевается за счет использования источника с размером пятна 10 мкм.

Для анализа пленок и пластин толщиной от 10 мкм до 3 мм используется источник ближнего ИК излучения (суперлюминесцентный диод). В случае необходимости он может быть дополнен источником излучения видимой части спектра для анализа пленок толщиной от 15 нм.

Основные области применения систем F3-sX:

  • Анализ толщины пластин кремния (включая сильно легированный кремний)
  • Конформальные покрытия на полупроводниках
  • Анализ отказа интегральных схем
  • Анализ толщины толстых слоев фоторезиста (например, SU-8)

Дополнительные аксессуары включают в себя моторизованный столик для картирования, видеокамеру для визуализации места измерения и др.

 


Назад


О компанииНовостиОборудованиеЛИМСКомплексные проектыБиблиотекаСервисКонтактыВакансии
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design