 |
Стилусный профилометр P-7 |
Стилусный профилометр P-7
Обновление в линейке стилусных профилометров P-серии. Принципиально прибор остался прежним и относится к классу контактных (механических или стилусных) профилометров.
Принцип их действия заключается в том, что алмазный стилус перемещается по поверхности, отслеживая рельеф. Сигнал о положении стилуса на поверхности оцифровывается и преобразуется в 2D или 3D картинку.
Популярность у пользователей стилусного профилометров P-серии и в особенности Р-7 строится на использовании передовых разработок компании KLA-Tencor – программного управления предметным столом, малошумящего измерительного тракта, а так же высокой разрешающей способности и размеров получаемых изображений. Все перечисленные характеристики приятно совмещаются с экономичной ценой прибора.
Исключительная точность анализа поверхности, возможность для осуществления которого предоставляет профилометр P-7, позволяет добиваться лучшего соотношения цена/качество среди всех производителей, доступных на рынке.
Три различные измерительные головки, доступные для этого прибора, обеспечивают гибкость измерения топографии поверхности в широких диапазонах вертикального перемещения, а интуитивно понятный интерфейс делает работу на приборе простой и понятной для пользователя.
Стилусный профилометр P-7 обладает выдающимися характеристиками, что делает его очень мощным инструментом для таких областей применения как:
- Разработка процессов производства и контроля научных исследований;
- Производство фотоэлектрических элементов;
- Производство устройств хранения данных;
- Производство микроэлектромеханических систем;
- Прочие применения промышленной метрологии высокоточных производств.
Основными приложениями для стилусного профилометра P-7 являются:
- Измерение толщины и шероховатости тонких пленкок и покрытий;
- Исследование структуры пластичных материалов (возможно за счет приложения переменного усилия к стилусу, использования емкостного датчика положения, а так же сменных стилусов);
- Измерение глубины травления;
- Вычисление более чем 40 различных параметров поверхности, в том числе шероховатость, плоскопараллельность, макрорельеф с помощью программного обеспечения для анализа пиков;
- Расчет параметров топологии поверхности по данным измерений и преобразование результата в 3D модель. В качестве опции предлагается офлайн анализ данных, позволяющий производить анализ без влияния на производительность;
- Измерение напряжений в тонких пленках (позволяет оптимизировать процессы для предотвращения появления трещин или нарушений адгезии);
- Выявление дефектов поверхности. Продвинутые характеристики системы выявления дефектов позволяют добавлять модели дефектов, созданные пользователем. Даже самые маленькие дефекты в случае их обнаружения могут быть перемещены в центр сканируемой области, оптимизируя тем самым процесс обследования и анализа дефектов.
|
