На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
расширенный поиск
Английская версия сайта Русская версия сайта
Общелабораторное оборудование Элементный анализ Молекулярный анализ Анализ поверхности и наноструктур Термический анализ и реология Мониторинг атмосферы и промышленных выбросов Анализ в управлении технологическими процессами

- Theta Probe

Последние новости
[17.07.2019]
Анонс дополнительного курса по ИК спектроскопии
Читать далее»
[15.07.2019]
Фотоотчет прошедшего курса по ИК спектроскопии
Читать далее»
[24.06.2019]
Анализаторы толщины пленок Filmetrics (KLA)
Читать далее»
[03.06.2019]
Курс повышения квалификации по реометрии. Фотоотчет
Читать далее»
[23.05.2019]
С наступающим Днем химика!
Читать далее»
[19.04.2019]
Участие в выставке "КомпозитЭкспо-2019" 23-25 апреля 2019 г.
Читать далее»
[16.04.2019]
Выставка "Аналитика Экспо-2019" 23-26 апреля 2019 г.
Читать далее»
[21.03.2019]
Семинар по аналитическому оборудованию для микроэлектроники
Читать далее»
...История новостей
Ближайшие семинары
15.10.2019 - 18.10.2019
Дополнительный курс повышения квалификации по ИК спектроскопии
НИТУ "МИСиС", г. Москва
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
Анализ поверхности и наноструктур
 


задать вопрос менеджеру  


Theta Probe


Производитель: Thermo Fisher Scientific
Области применения: Атомная промышленность
Микроэлектроника
Наука
Материаловедение
Анализ покрытий
Спектрометр Theta Probe в стандартной конфигурации

 

THETA PROBE –прорыв в области анализа поверхности и различных покрытий методами электронной спектроскопии. Позволяет проводить количественный и качественный анализ поверхности различных материалов и исследование сверхтонких плёнок. Прибор обладает уникальной функцией построения карт распределения химических элементов по поверхности, карт толщин покрытий, распределения примесей и т.д. Уникальная методика РФЭС с угловым разрешением (PARXPS) позволяет проводить широкий спектр неразрушающих исследований на неподвижном образце (определение последовательности слоёв, распылительное профилирование, анализ толщины скрытых слоёв, анализ однородности толщины, состава слоев и концентрации элементов в них и т.д.). Система является уникальной в своём роде, и при иcпользовании запатентованной методики PARXPS разрешение по глубине при неразрушающем профилировании составляет <0.1 нм. 

В базовой комплектации прибор включает:

• полусферический анализатор с двойной фокусировкой;
• многоэлементную систему вводных линз RADIAN для спектроскопии;
• многоканальный двумерный детектор для спектроскопии и PARXPS;

Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения
• монохроматор 250 мм (круг Роуланда);
• микрофокусная электронная пушка и многопозиционный алюминиевый анод;
• термостатированная система управления кристаллом и манипуляторы;
• минимальный размер пятна - от 15 мкм

Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации
• Нейтрализация заряда
• Функция электростатического отклонения для точной настройки
• Источник низкоэнергетических электронов

Ионная пушка
• Очистка поверхности образца, распылительное профилирование
• Дифференциальная откачка

Наблюдение за образцом
• Окно с защитой от рентгеновского излучения 
• Микроскоп для оптимизации положения образца с CCD камерой

 

Профиль

Профиль распределения концентрации по глубине слоя оксинитрида кремния, полученный при помощи прибора Theta Probe.

 

3D представление распределения толщины оксида по поверхности пластины диаметром 200 мм.

химическая карта

Химическая карта распределения дозы азота по поверхности пластины диаметром 300 мм.

 

За любой дополнительной информацией, пожалуйста, обращайтесь в офис компании Intertech Corporation. 


Назад


О компанииНовостиОборудованиеЛИМСКомплексные проектыБиблиотекаСервисКонтактыВакансии
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design