Стандарты для калибровки оборудования для исследования поверхности - Стандарты для калибровки содержания частиц загрязнений

Стандарты для калибровки содержания частиц загрязнений

Стандарты для калибровки размера частиц и загрязнений используются для сканирующих систем инспекции поверхности (SSIS) в полупроводниковой промышленности – приборов для детектирования и определения размера и количества частиц на поверхности чистых кремниевых пластин. Также VLSI Standards производит поверхности с возможностью повторной очистки, опции для диагностики сканеров и т.д.

• SCS (Silica Contamination Standards) – стандарт калибровки размера частиц оксида кремния (один размер частиц для каждой пластины). Кремниевые пластины 300 или 450 мм с нанесенными сферическими частицами оксида кремния размером от 32 нм до 1.5 мкм с узким распределением частиц по размеру. Частицы устойчивы к продолжительному воздействию УФ- или дальнего УФ-излучения. Сертификат калибровки содержит информацию о приблизительном количестве частиц на пластине (данная величина не прослеживается к внешним стандартам).

• SLCS (Silica Leopard Contamination Standard) – стандарт калибровки размера частиц оксида кремния (несколько размеров частиц на каждой пластине). Сферические частицы оксида кремния с узким распределением частиц по размерам, от 32 нм до 1.5 мкм, нанесенные локально в нескольких местах на чистую поверхность кремниевой пластины диаметром 300 или 450 мм (от 2 до 8 мест нанесения, диаметр каждой области нанесения – примерно 20 мм, количество частиц – до 12 000).змеру. Частицы устойчивы к продолжительному воздействию УФ- или дальнего УФ-излучения. Сертификат калибровки содержит информацию о приблизительном количестве частиц на пластине (данная величина не прослеживается к внешним стандартам).

• SPS (Silica Particle Solutions) – растворы частиц диоксида кремния. Устойчивые к УФ-излучению растворы частиц диоксида кремния, размер которых прослеживается к стандарту СИ. 14 вариантов размера частиц (от 32 нм до 1.5 мкм) и 2 варианта объемов стандарта (15 и 50 мл).

• ACS (Absolute Contamination Standards) – стандарты абсолютного размера инородных примесей, представляющие собой высокосовершенные сферические частицы полистирольного латекса с хорошо известными оптическими свойствами и крайне узким распределением частиц по размерам, нанесенные на поверхность чистой кремниевой пластины (один размер частиц для каждой пластины). Используются для калибровки приборов, измеряющих количество инородных частиц. Размеры частиц: от 40 нм до 4.0 мкм (прослеживаются к стандартам NIST), размеры пластин: 100, 125, 150, 200 и 300 мм.

• ECS (Edge Contamination Standard) – стандарты калибровки размера частиц, находящихся по краю кремниевой пластины. Представляют собой сферические частицы полистирольного латекса, нанесенные в определенных местах по краю чистой кремниевой пластины. Размеры частиц: 0.5, 1.0, 2.0 и 5.0 мкм (все на одной пластине); размеры кремниевых пластин: 200 и 300 мм, места нанесения – по отношению к канавке (0°): 35°, 145°, 205° и 325°.

• LCS (Leopard Contamination Standard) – стандарт калибровки размера частиц на поверхности (несколько размеров частиц на одной пластине). Представляет собой локально нанесенные высокосовершенные сферические частицы полистирольного латекса различного размера на поверхности чистых кремниевых пластин. Размер каждой области нанесения – около 20 мм, количество частиц: около 5 000. Количество мест нанесения частиц на каждой пластине: от 4 до 6, диапазон размеров частиц: от 0.05 до 3 мкм, диаметр кремниевых пластин: 200 и 300 мм.

• RCS (Reticle Contamination Standard) – стандарт калибровки размера частиц на поверхности промежуточного шаблона или защитной пленки. Представляет собой высокосовершенные сферические частицы полистирольного латекса с хорошо известными оптическими свойствами и узким распределением по размеру. Частицы наносятся на подложку, предоставленную заказчиком (любого размера), или же на чистую или хромированную поверхность кремниевой пластины (125х125 или 152х152 мм). Размеры частиц – от 40 нм до 50 мкм.